浄化材料：金属、吸気剤、その他

・異なる条件下で、不活性ガスと特殊ガスの中で最大1 PPB以下の水分、酸素、水素化物などの不純物を除去することができる。

・内蔵する予備ろ過用のろ過材はすべてSUS 316 Lを標準的に使用し、腐食による生粒子等の化学反応を起こさない。

●HBr、HClなどの強い腐食性特殊ガスに含まれる水分は、最大100 PPB（分析装置の検出限界）以下で除去できる。

●小型・軽量のGP-05型はフィルターと同じ大きさ（長さ84 mm）、重さ120 gのみ。

・異なるガスタイプに応じて、350℃〜400℃の加熱再活性化処理を使用寿命内に複数回繰り返し使用することができる。

仕様：